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财联社7月8日宣布,中国科学院苏州纳米技术和纳米仿生研究所的张子昕研究员与国家纳米中心的刘前研究员合作,成功开发了新型5nm超高精度激光光刻加工方法。
据中国科学院7月7日的官网报道,研究小组最近发表了论文,提出了新型的5nm超高精度激光光刻加工方法。 利用这种超分辨率激光直拍技术,实现了纳米狭缝电极阵列结构的大规模制造,打破了以前传入激光直拍技术的受体材料为有机抗蚀剂的限制,采用了多种受体材料,扩大了激光直拍的应用场景。 该技术在集成电路、光子芯片、微机电系统等许多微纳米加工行业显示了广阔的应用前景。
华创证券表示,长期以来激光直写技术并不容易进行纳米尺度的超高精度加工,但这次中国研究小组很好地处理了效率和高精度之间的固有矛盾,开发的新型微纳米加工技术有集成电路、光子芯片、微机械系统等许多
最近,光刻机双工件台生制造商华卓精科的申请ipo被科创板正式受理,迄今为止,企业用新三板挂牌。 这家企业受到市场的关注,被誉为“国产光刻机第一股”。
目前世界光刻机机械整体市场长期被asml (市场占有率70%以上)、尼康和佳能完全垄断,三者合计市场占有率达到99%,国内重要的整机制造商主要是上海微电子。
我们知道,光刻机的工件台只是光刻机中的位移台(设备),包含在一般的光刻机设备中,与光刻机本身的差距很远。
但是,华卓精科是国内第一家打破国际大型asml对光刻机双工件台的垄断,成为国内第一家可以自主开发和商业生产的光刻机双工件台的供应商。 企业的主要营业业务是以光刻机双工件台为核心的超精密测量装置装备有整机和部件,应用行业涵盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3c制造等领域。
a股产业链相关概念车:
苏大维格:研制成功的紫外激光光刻关键技术、软件和装备,在国际上处于领先地位。 企业表示在互动平台上,与中国科学院苏州纳米技术和纳米仿生研究的所有项目合作。
今天早上,苏大维格( 300331,是股票吧)在高开调整后迅速拉板。 发表新闻时,上升停止板上单票超过5万手,成交金额3.57亿元,交换率6.3%。
清溢光电:首先采用激光直拍法制造集成电路掩膜版,顾客包括中芯国际等。
柏楚电子:国内中低功率激光切割控制系统行业已经基本实现了进口替代,推出了“cad、cam和nc三合一激光切割控制系统”,一体化系统实现了功能融合。 企业中低电力行业的相关技术水平已经在国际上领先,市占有率达到约60%。
标题:“国产光刻技术迎重大突破:龙头秒板 还有那些低位个股?”
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